簡述三豐表面輪廓儀的校準(zhǔn)方法

　　摩擦學(xué)是一門研究物體相對運(yùn)動時其表面摩擦、潤滑、磨損三者間相互關(guān)系的交叉學(xué)科，摩擦學(xué)實(shí)驗研究的重點(diǎn)和難點(diǎn)之一在于對磨損量的定量分析。磨損量涵蓋了磨損區(qū)的輪廓尺寸、粗糙度、體積這線、面、體三個維度方面的參數(shù)，量級從納米到毫米不等，又由于不可破壞性測量，傳統(tǒng)的低精度接觸式輪廓儀和影像儀無法適用，而以白光干涉為原理、具備高精度、非接觸式測量能力的三豐表面輪廓儀登上了摩擦學(xué)研究的舞臺。

 

　　下面要與大家分享的是三豐表面輪廓儀的校準(zhǔn)方法：

 

　　1、三維形貌校準(zhǔn)：

 

　　這一校準(zhǔn)都和形貌測量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺階塊對臺階高度測試精度校準(zhǔn)。

 

　　2、二維光強(qiáng)校準(zhǔn)：

 

　　這一校準(zhǔn)和成像視場范圍內(nèi)的“光強(qiáng)”信號相關(guān)。設(shè)備有一些功能，可以增強(qiáng)用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強(qiáng)”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強(qiáng)校準(zhǔn)。

 

　　3、橫向校準(zhǔn)：

 

　　這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。

 

　　目前三豐表面輪廓儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。